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园区领军人才解说MEMS产业现状与发展趋势

时间:2019-01-09 10:40  |  来源:
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  1月7日上午,由苏州工业园区科技和信息化局主办的“科技创享汇”如期举行。本期活动特别邀请苏州甫一电子科技公司有限创始人刘瑞带来题为“MEMS产业现状与发展趋势”的精彩分享。

  刘瑞从MEMS基本概念与特点、MEMS发展概况、MEMS工艺、MEMS市场与产品应用、MEMS趋势与展望等五大版块逐一介绍,并指出微电子和微系统之间的具体差异。
  刘瑞是苏州甫一电子科技公司有限创始人,2009年毕业于上海交通大学微纳科学技术研究院,获得微电子学与固体电子学博士学位。博士期间刘瑞主要从事微纳米器件制备与微细加工技术的研究工作,作为主要参与人员参加了国家863项目“面向非硅微结构的基础力学特性的微拉伸测量方法及设备”、上海市科学技术委员会科技攻关资助项目“基于MEMS加工技术的异型纤维喷丝头研制”、02专项“基于TSV三维封装的微互连技术的研究”等方面的项目。2010年他进入中国科学院苏州纳米所从事微纳米器件及相关材料的研究,期间主持或参与江苏省科技型企业技术创新基金项目、国家863项目,自然基金,重大专项等。2015年刘瑞创立苏州甫一电子科技有限公司,专注于MEMS微纳传感器芯片的设计、研发、制造及封装,尤其在微纳薄膜复合器件、高深宽比微结构、微纳通孔方面具有国内一流的技术能力。公司于2017年获得“苏州工业园区领军人才”、“江苏省民营科技企业”称号等。
  现场,刘瑞生动地把“微电子电路”比作“人的大脑”,“微机械”比作“人的五官(传感器)和手脚(执行器)”,而这两者的紧密结合,就是一个功能齐全且强大的微系统。他指出,“用MEMS工艺制造的传感器具有微型化、集成化、多样化、广义化、批量化等特点。”同时,MEMS传感器不仅能够感知被测参数,将其转换成方便度量的信号;而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断,因此形象地被称为智能传感器。随后,他从MEMS发展的初始阶段、中期阶段、高速发展阶段追溯到当前。MEMS整个产业链比较复杂,涉及的厂商众多。其产业链的上游负责MEMS器件设计、材料和生产设备供应,中游生产制造出MEMS器件,下游使用MEMS器件来制造终端电子产品。
  由于我国MEMS产业起步较晚,我国的MEMS传感器产品多处于技术相对成熟、市场格局相对稳定的传统MEMS应用领域,而新兴领域的MEMS产品在测量精度、温度特性、响应时间、稳定性、可靠性等方面与国外差距较大,尚未形成具有市场竞争力、较为完善的产品系列,产品结构略显单薄。对此,刘瑞指出,应提高技术研发创新能力、突破关键技术、打造合理的产业结构、加强企业自身的能力,从而带动整个传感器行业的发展。当前,我国对MEMS传感器行业的政策支持力度非常大,加之市场的内在需求,MEMS传感器即将进入新一轮的快速增长周期。
  作为助推园区科技创新发展的一线实践者,园区科信局每周都会进行这样的业务“充电”。自2016年起,科信局每周开展一场“科技创享汇”活动,鼓励科技条线全体员工主动学习,“不断掌握新知识新技能,做到在创新发展中不落伍不掉队”,扎实践行《园区工作人员行为导则》。


编辑 吕依
2019年1月9日