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园区纳米产业新增一家中日联合实验室

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  近日,由苏州纳米科技发展有限公司与日本爱发科共建的PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室落户苏州纳米城,双方将共同推动PZT压电薄膜材料在MEMS器件制造领域的应用。日本爱发科株式会社(ULVAC)代表取缔役执行役员社长岩下节生,苏州工业园区党工委委员、管委会副主任孙燕燕等出席签约仪式。
  据了解,PZT压电薄膜材料可减小MEMS芯片面积、简化生产工艺、提高制造良率、降低生产成本,日本爱发科是该材料生产设备的全球引领者。建设“PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室”,将有利于壮大苏州工业园区MEMS产业实力,也有利于加快中国MEMS企业创新步伐。
  岩下节生在签约仪式上表示,爱发科与苏州工业园区之间有着深厚的互信和友谊,也得到了苏州工业园区的大力支持,十年来已有三个重大项目落户于此。爱发科非常感谢苏州工业园区一直以来的帮助和支持。我们对此次共建联合实验室充满信心。
  纳米技术应用产业是苏州工业园区的区域战略性产业,截至2018年底,苏州工业园区集聚590多家纳米企业,产值突破660亿元,也被誉为全球纳米创新资源最集聚的八大区域之一。MEMS产业是“中国芯”有望取得突破的关键领域之一,是纳米技术应用产业的重要细分领域,也是苏州工业园区推进产业高端化、加快发展动能转换的重要领域。
  孙燕燕致辞时表示,开放创造机遇,合作带来共赢,苏州工业园区近年来,坚持把科技创新作为区域发展的核心战略,坚持在全球范围配置创新资源,构建开放型创新体系,优化完善创新生态圈,积极构筑纳米产业先发集群优势。日本爱发科、岩下节生社长都是苏州工业园区的老朋友,希望双方以此次签约为契机,不断深化开放创新的水平,使PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室成为中国MEMS产业的新地标,进一步促进中日两国科技交流与合作。同时,我们将积极构建国际一流营商环境,以更有温度的服务、更大力度的支持,助力MEMS产业实现跨越发展。
  据了解,MEMS中试平台是中国首条市场化、全开放、工业级的6英寸微纳机电制造中试线,是国内工艺能力最全、流片产品最多的公共服务平台。在该平台的带动下,苏州工业园区已成为中国MEMS产业第一园,集聚了一批MEMS创新企业,五家企业位列全国MEMS十强。


编辑 冯瑞杰
2019年6月9日